美國安捷倫 Intuvo 9000 氣相色譜系統(tǒng)
島津旗艦級氣相色譜儀 Nexis GC-2030
賽默飛 Axia ChemiSEM 智能型鎢燈絲掃描電鏡
哈希DR3900 臺式可見光分光光度計
LSC-5000 (AD) 全自動兆聲大基片濕法去膠系統(tǒng)
NTE-4000 (M) 熱蒸發(fā)系統(tǒng)
NPE-3500 PECVD等離子體化學氣相沉積系統(tǒng)
NPC-4000 (M) 等離子清洗機
美國 那諾-馬斯特 NRE-3500 (A) 全自動RIE反應(yīng)離子刻蝕機
荷蘭4PICO 大幅面無掩模激光直寫光刻機PicoMaster XF 500-H
荷蘭4PICO 激光直寫光刻機 PicoMaster200
美國 5000-EC Series UV Curing 紫外面光源
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