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  • 安智AZ 正性光刻膠厚膠 40XT
安智AZ 正性光刻膠厚膠 40XT

安智AZ 正性光刻膠厚膠 40XT

  • AZ?40 XT的應(yīng)用始于15-30 μm,在這個(gè)厚度范圍時(shí),由于N2脫氣和再水化延遲時(shí)間,使用常規(guī)正性光刻膠的光刻工藝變得非常耗時(shí),而AZ?40 XT可以避免這個(gè)問(wèn)題 。即使對(duì)于非常大的光刻膠膜厚度,AZ?40 XT也只需要很短的軟烘烤時(shí)間,不會(huì)有再水化延遲,由于其化學(xué)放大作用,曝光劑量非常小,顯影速度快。 因此,與傳統(tǒng)的厚型光刻膠相比,AZ?40 XT的加工速度要快得多。

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安智AZ 正性光刻膠厚膠 40XT(圖1)


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